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    Cu互連阻擋層研究

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    Cu互連阻擋層研究

    djxgreat創建于2011-11-11 最后編輯: 2011-11-11 11:11 9,328閱讀
    Cu互連阻擋層研究
    共 4 個文檔
    集成電路CU互連工藝中W基擴散阻擋層研究 70p
    pdf 集成電路CU互連工藝中W基擴散阻擋層研究
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    隨著集成電路器件尺寸的持續縮小,互連延遲越來越成為制約集成電路發展的瓶頸問題。在32nm及以下技術節點,互連工藝中磁控濺射制備的Ta/TaN雙層結構擴散阻擋層和銅籽晶層由..
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    集成電路銅互連中鉭硅氮擴散阻擋層的制備及其阻擋特性研究
    • 作者: DodoDown
    • 2010-04-15
    • 格式: PDF
    新一代集成電路Cu互連用Ta基擴散阻擋層的制備及特性研究 81p
    pdf 新一代集成電路Cu互連用Ta基擴散阻擋層的制備及特性研究
    暫無描述
    • 作者: 拉拉
    • 2011-05-03
    • 格式: PDF
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