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    集成電路CU互連工藝中W基擴散阻擋層研究

    本文檔由 Hemuchengxi 分享于2011-05-08 17:02

    集成電路CU互連工藝中W基擴散阻擋層研究
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    文檔標簽:
    工藝 集成電路 互連 研究 阻擋層 擴散 CU 電路 工藝中 CU互連
    系統標簽:
    擴散阻擋層 互連 集成電路 工藝 barrier itrs
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