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		集成電路銅互連中鉭硅氮擴散阻擋層的制備及其阻擋特性研究
		
    
	
    
		
		
    
	
    
	
    
        
    
			
			
    
				
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                集成電路銅互連中鉭硅氮擴散阻擋層的制備及其阻擋特性研究
    
        
    

		
    
			
    
				
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    .pdf
    
					
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    文檔標簽：
    
				
    
					SiCN
					集成電路
					ULSI
					特性
					CMP
					制備
					互連
					研究
					
    
			
    
			
    
				
    系統標簽：
    
				
    
					擴散阻擋層
					阻擋
					硅氮
					集成電路
					互連
					制備
					
    
			
    
			
    
	
    
	
    
		
    
                
    
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