半導體表面勢、空間電荷、能帶結構等與外加電壓的關系及其在MOS器件中的作用

本文詳細介紹了MOS場效應晶體管的表面勢、空間電荷、能帶結構與外加電壓的關系，較為直觀的解釋了表面勢的概念，并通過Matlab繪制了在柵氧電荷影響下的閾值電壓、表面勢與外加電壓的關系，表面電荷和表面勢的關系，C-V關系特性曲線。最后較為直觀的解釋了在界面態影響下的C-V曲線發生變化的原因。