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		【新能源技術(shù)】PECVD詳盡資料整理
		
    
	
    
		
		
    
	
    
	
    
        
    
			
			
    
				
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                為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD).
    
        
    

		
    
			
    
				
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					研究報告
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						新能源
						
    
                
    
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