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		薄膜濺射技術(shù)
		
    
	
    
		
		
    
	
    
	
    
        
    
			
			
    
				
    本文檔由 精品庫 分享于2012-05-10 15:57
    
			
    
			
    
                濺射是離子轟擊物質(zhì)表面，并在碰撞過程中發(fā)生動(dòng)能與動(dòng)量的轉(zhuǎn)移，從而將物質(zhì)表面原子激發(fā)出來的過程。?沉積薄膜，刻蝕，離子注入。
    
        
    

		
    
			
    
				
    文檔格式：
    
					
    .ppt
    
					
    文檔大小：
    
					
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