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		<薄膜生產工藝技術>外延薄膜中的缺陷
		
    
	
    
		
		
    
	
    
	
    
        
    
			
			
    
				
    本文檔由 精品庫 分享于2012-05-10 15:22
    
			
    
			
    
                點缺陷：空位，間隙原子，替代雜質原子，間隙雜質原子線缺陷：刃型位錯，螺型位錯，層錯面缺陷:   孿晶界，小角晶界，共格晶界……金屬，半導體：不同的結構不同的特性表面點缺陷，表面線缺陷
    
        
    

		
    
			
    
				
    文檔格式：
    
					
    .ppt
    
					
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					缺陷
					薄膜
					外延
					間隙
					空位
					四面體
					
    
			
    
			
    
	
    
	
    
		
    
                
    
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