薄膜生產技術課件——真空技術

本課程前面主要介紹與薄膜生長相關的比如表面結構、表面輸運。重點介紹薄膜沉積熱力學和動力學過程，薄膜沉積的各種技術及表征手段。并對目前的熱門薄膜材料及薄膜加工工藝進行介紹。課程主要涉及無機功能薄膜。