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		AlN_NbN納米結構多層膜的共格異結構外延生長研究
		
    
	
    
		
		
    
	
    
	
    
        
    
			
			
    
				
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					多層膜
					nbn
					aln
					納米結構
					生長
					外延
					
    
			
    
			
    
	
    
	
    
		
    
                
    
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