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		薄膜材料與薄膜技術 第一章 真空技術基礎
		
		
    
	
    
		
		
    
	
    
	
    
        
    
			
			
    
				
    本文檔由 資料一籮筐 分享于2011-03-26 15:33
    
			
    
			
    
                本文介紹了真空的概念，特診等基本知識，以及真空的獲得、真空的測量、真空系統等內容。
    
        
    

		
    
			
    
				
    文檔格式：
    
					
    .ppt
    
					
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    文檔標簽：
    
				
    
					薄膜材料
					薄膜技術
					真空技術
					真空基礎
					真空系統
					真空測量
					真空獲得
					氣體分子
					真空度
					
    
			
    
			
    
				
    系統標簽：
    
				
    
					真空
					薄膜
					高真空
					低真空
					氣體
					分子
					
    
			
    
			
    
	
    
	
    
		
    
                
    
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