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薄膜材料與薄膜技術第三章薄膜的物理制備方法-濺射

1,346閱讀 4頂 26人收藏 69頁資料一籮筐上傳舉報/認領合伙人(招募中) 展開

本文檔由資料一籮筐分享于2011-03-26 13:58

本課件講解了薄膜制備的濺射、離子鍍、離子束增強沉積等物理制備技術。

文檔格式：: .ppt
文檔大小：: 10.37M
文檔頁數：: 69頁
頂 /踩數：: 4 / 0
收藏人數：: 26
評論次數：: 1
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文檔分類：: 高等教育 — 大學課件; 添加到豆單

文檔標簽：: 薄膜材料薄膜技術薄膜制備物理制備濺射離子鍍離子助氣相沉積大學課件

系統標簽：: 濺射薄膜制備物理靶材轟擊高等教育大學課件

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